磁控靶屏蔽罩是什么材质

在磁控靶技术的应用中，磁控靶屏蔽罩是一种非常重要的组成部分，其作用是保护磁控靶的靶材，防止一些不相关的物质污染靶材表面并影响薄膜的质量。那么，磁控靶屏蔽罩通常采用什么材质呢？本文将详细介绍。

金属材料

首先，磁控靶屏蔽罩最基本的材料应该就是金属材料了，例如不锈钢、铝等，在一定程度上，金属材料具有良好的抗氧化、耐磨、耐腐蚀等特性，可以保障靶材的使用寿命和质量。不过，由于金属材料的导电性，当靶材沉积时，可能会对薄膜的成分和质量产生一定的影响。

陶瓷材料

除了金属材料之外，磁控靶屏蔽罩还可以采用陶瓷材料制成，因为陶瓷材料具有良好的绝缘性能，可以避免靶材和屏蔽罩之间产生电学作用，从而减小靶材污染和保护薄膜的质量。

二者结合

实际上，为了得到更好的保护效果，在一些特殊场合下，磁控靶屏蔽罩的制造更倾向于金属和陶瓷两者结合制造，既可以保障屏蔽罩的机械性能，又可以获得更好的绝缘性能，从而提高靶材和薄膜的使用寿命和质量，这也是目前最为常见的磁控靶屏蔽罩的制造材料。