磁控靶材阴极屏蔽罩作用

磁控靶材阴极屏蔽罩作用

磁控靶材阴极屏蔽罩是在物理蒸镀过程中使用的一种工具，用于保护靶材和阴极。它的作用出现在以下几个方面：

保护靶材

在物理蒸镀过程中，高温导致靶材剥落，因此需要防止其碎裂或溅射。磁控靶材阴极屏蔽罩的存在可以限制靶材的温度和缩小物理蒸发范围，从而达到保护靶材的作用。同时，磁控靶材阴极屏蔽罩还可以防止气氛中的杂质溅射到靶材上，从而保证蒸发纯度和膜层均匀性。

保护阴极

阴极在物理蒸镀中扮演着重要的角色，它是蒸发的源头，塑造了薄膜的结构和性质。靶材热膨胀系数较大，在高温下可能直接接触到阴极，导致阴极永久损坏。使用磁控靶材阴极屏蔽罩可以防止阴极与靶材接触，从而延长阴极使用寿命。同时，磁控靶材阴极屏蔽罩还可以减少靶材碎片对阴极的损坏，保持阴极表面的平整度和光洁度。

增加蒸发效率

磁控靶材阴极屏蔽罩可以限制靶材的物理蒸发范围，从而减少蒸发物质溅射到室壁或器件上的数量。这样，不仅可以提高蒸发效率，减少能源浪费，还可以延长真空设备的使用寿命。此外，磁控靶材阴极屏蔽罩还可以提高器件蒸发速率，并且保持磁感线的连通性，进一步提升蒸发效率。

总之，磁控靶材阴极屏蔽罩在物理蒸镀过程中扮演着重要的保护和促进作用，其使用可以保证薄膜性质的稳定性和均匀性，同时保护真空设备和器件的使用寿命。