磁控溅射屏蔽罩结构-磁控溅射屏蔽罩作用

什么是磁控溅射屏蔽罩结构磁控溅射屏蔽罩结构是用于磁控溅射技术过程中的重要组成部分。磁控溅射屏蔽罩的作用是保护基板表面，防止溅射材料误飞，并同时调节溅射喷头的磁场分布，实现薄膜的均匀沉积。磁控溅射屏蔽罩由屏蔽板和支撑构件组成，在工作过程中会遭受高温和侵蚀磨损，因此具有一定的制造难度和使用寿命限制。为了满足高质量、稳定可靠...

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