磁控溅射 靶材屏蔽罩-磁控溅射铜靶材工艺参数

什么是磁控溅射靶材屏蔽罩？磁控溅射靶材屏蔽罩是一种用于保护靶材的装置，常用于磁控溅射工艺中。磁控溅射是一种常见的表面处理工艺，可以制备出具有高质量、高耐磨性和高硬度等特性的薄膜材料。然而，因为靶材在过程中会被高能离子轰击，容易受到破坏，导致薄膜质量下降。因此，使用靶材屏蔽罩可以有效延长靶材寿命，减少生产成本。磁控溅射靶...

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