屏蔽罩平面度整形方法-屏蔽罩平面度不良怎么修

屏蔽罩平面度整形方法1. 背景屏蔽罩作为半导体制造过程中的重要工具，被广泛应用于化学气相沉积、物理气相沉积等工艺中。然而，由于屏蔽罩的加工过程中难以保证完美的平面度，这给半导体工艺的制造和研发带来了许多挑战。为了解决这个问题，屏蔽罩平面度整形方法应运而生。2. 屏蔽罩平面度整形方法屏蔽罩平面度整形方法主要包括以下几种：...

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